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在光¾U¤激光掩膜微¾l†电(sh¨´)解加工装¾|®上˜q›行加工试验研究。首先选用合适的‹Ȁ光参数对304不锈钢工件进行掩膜化处理ã€?
ž®†已掩膜化处理过的样件在ç”?sh¨´)解槽内˜q›行微细ç”?sh¨´)解加工试验åQŒ不锈钢片状甉|ž�作äؓ(f¨´)阴极工具甉|ž�åQŒ已¾l�被‹Ȁ光掩膜处理过的不锈钢工äšg作äؓ(f¨´)é˜Ïxž�åQŒ数控系¾lŸä‹É工具甉|ž�在不锈钢工äšg上方往复扫描进行电(sh¨´)解加工,在电(sh¨´)解加工过½E‹中严格控制极间距离åQŒ加工中加工间隙保持不变ã€?
微细ç”?sh¨´)解加工参数åQŒ电(sh¨´)解液采用1.8mol/L¼‹�酸钠溶æ¶Ԍ¼Œ利用ç”?sh¨´)解液åó@环系¾lŸ中的微型隔膜æ܇提供动力åQŒ从ž®�喷嘴喷ž®„出高速流动的ç”?sh¨´)解æ¶Ԍ¼Œ电(sh¨´)解液流量äØ?f¨´)320mL/minåQŒ快速冲走电(sh¨´)解äñ”物,使电(sh¨´)解加工顺利进行一‹ơ掩膜复合电(sh¨´)解加工的型腔深度ž®�,可重复多‹ơ掩膜电(sh¨´)解加工,加工的型腔深度显著提高。图8是经三次掩膜微细ç”?sh¨´)解加工的样ä»Ӟ¼Œ型腔深度¾U?3μmåQŒ激光制掩膜扫描速度20mm/såQŒ且可同时加工多个样件。每一‹ơ掩膜后åQŒ片状电(sh¨´)极在已掩膜工件表面上方往复走2‹ơ扫描电(sh¨´)解加工,再进入下一‹ơ激光扫描制掩膜图案