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采用光学轮廓仪测量的型腔的åŞ貌图åQŒ包括型腔的高度差、粗¾p™度和截面轮廓等。从å›?可知åQŒ所加工的型腔侧壁较陡直。微¾l†电(sh¨´)解加工的型腔表面光滑åQŒ经光学轮廓仪测量的加工表面的面¾_—糙度Saå€égؓ0åQ?63μmåQŒ电(sh¨´)解腐蚀后的不锈钢表面ã€?
ç”׃ºŽ甉|ž�扫描速度ä¸?00μm/såQŒ且无需制作微细成型甉|ž�åQŒ所以加工每个型腔样件效率非帔R«˜。该工艺在微‹¹�道、微模具型腔制作½{‰方面具有很好发展前景ã€?
åŸÞZºŽ‹Ȁ光表面改性,与微¾l†电(sh¨´)解加工相¾l“合åQŒ研发了‹Ȁ光掩膜微¾l†电(sh¨´)解加工åã^収ͼŒ探烦了激光掩膜微¾l†电(sh¨´)解加工机理。首先利用光¾U¤激光在304不锈钢表面打标,˜q›行表面æ”Ҏ(gu¨©)€§,生成了具有耐腐蚀性Fe、Cr氧化物掩膜层åQŒ再利用‹Ȁ光掩膜层在微¾l†电(sh¨´)解加工中做掩膜保护层实现微细加工ã€?
加工试验¾l“果证明‹Ȁ光掩膜微¾l†电(sh¨´)解复合加工工è‰ø™ƒ½快速加工出微细¾l“构åQŒ该工艺在微¾l†加工领域具有很好的发展前景ã€?