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工äšg˜q›行‹Ȁ光制掩膜æ—Ӟ¼Œ先规划激光填充图案扫描方式和路径。采用脉冲方式输出的光纤‹Ȁ光,扫描轨迹ç”׃¸€¾pÕdˆ—有一定光斑直径的圆组成。激光扫描线宽由‹Ȁ光光斑直径决定,‹Ȁ光扫描èµ\径规划由‹Ȁ光扫描线宽和¾U‰K—´距确定ã€?
首先利用‹Ȁ光表面改性技术,用光¾U¤激光高密度能量束按一定èµ\径扫æ�?04不锈é’?06Cr19Ni10)材料表面åQŒ在其表面ä‹É之生成具有è“v保护作用的掩膜图案。然后采用高频脉冲电(sh¨´)‹¹�进行微¾l†电(sh¨´)解加工,用片犉™‡‘属电(sh¨´)极作微细ç”?sh¨´)解加工阴极åQŒ生成掩膜图案的不锈钢äؓé˜Ïxž�åQŒ片犉™‡‘属电(sh¨´)极在与工件表面上斚w—´隔一定距¼›»进行反复扫描ã€?
ç”׃ºŽ不锈钢工件表面有暂时的掩膜保护层åQŒ金属电(sh¨´)解腐蚀速度明显¾~“慢åQŒ而没有掩膜保护层区域金属能被快速电(sh¨´)解腐蚀åQŒ就能实现微¾l†电(sh¨´)解定域加工,可得到按一定掩膜图案保护的二维¾l“构微型腔ã€?
一‹ơ激光掩膜电(sh¨´)解加工型腔很‹¹…,可进行多‹ơ激光掩膜微¾l†电(sh¨´)解加工,提高型腔加工深度åQŒ激光掩膜图案重复定位精度小äº?μm。如果每‹ơ制作的掩膜层图案不同,可加工具有多层结构的微小型腔ã€?